硅片的等级标准

一、硅片的检测
    弯曲是指有效面积内有规律的发生形变，翘曲是指有效面积内局部发生形变。

	A级	B级	C级	D级	E级
线痕： TV： TTV： 孪晶： 多晶： 裂纹、裂痕： 应力： 空洞： 缺角： V型缺口： 弯曲度翘曲度： 硅多晶线性尺寸长度：	无或轻线 无 无 无 不存在多晶 无 无 无 无 无 无  6≦L≦100mm	≦10μm,≦5条 ≦20μm ≦15 无 不存在多晶 无 无 无 无 无 ≦,50μm 6≦L≦100mm	≦20μm,≦10条 ≦20μm ≦30 无 不存在多晶 无 无 无 无 无 ≦75μm 6≦L≦100mm	≦30μm,≦15条 ≦20μm ≦50 无 不存在多晶 无 有 无 无 无 ≦100μm 6≦L≦100mm	≦50μm ＞20μm ＞50 有 存在多晶 有 严重(可能碎裂) 有 有 有 ＞100μm L＜6或L＞100mm

（1）优等品
    1：硅片表面光滑洁净
    2：TV：220±20um
    3：几何尺寸：
    边长：125±0.5mm；对角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm
    边长：103±0.5mm、对角：135±0.5mm
    边长：150±0.5mm、156±0.5mm、对角：203±0.5mm、200±0.5mm
    同心度：任意两个弧的弦长之差≤1mm
    垂直度：任意两边的夹角：90°±0.3
（2）合格品
    一级品：垂直度：任意两边的夹角：90°±0.5
    二级品：1：表面有少许污渍、线痕。凹痕、轻微崩边。
    2：220±30um ≤TV≤220±40um。
    3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30um
    4：崩边范围：崩边口不是三角形，崩边口长度≤1mm ，深度≤0.5mm
    5：几何尺寸：
    边长：125±0.52mm；对角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm
    边长：103±0.52mm、对角：135±0.52mm
    边长：150±0.52mm、156±0.52mm、对角：203±0.52mm、200±0.52mm
    同心度：任意两个弧的弦长之差≤1.5mm
    垂直度：任意两边的夹角：90°±0.8
    三级品：
    1：表面有油污但硅片颜色不发黑，有线痕和硅洛现象
    2：220±40um ≤TV≤220±60um
    3：硅落：整张硅片边缘硅晶脱落部分硅晶脱落
 （3）不合格品
    严重线痕、厚薄片：TV＞220±60um
    崩边片：有缺陷但可以改￠103的硅片
    气孔片：硅片中间有气孔
    外形片：切方滚圆未能磨出的硅片
    倒角片（同心度）：任意两个弧的弦长之差＞1.5mm
    菱形片：（垂直度）：任意两边的夹角＞90°±0.8
    凹痕片：硅片两面凹痕之和＞30um
    脏片：硅片表面有严重污渍且发黄发黑
    尺寸偏差片：几何尺寸超过二级片的范围。
    注：以上标准针对的硅片厚度为220um
二、硅片等级分类及标准（150*150）
    （1） 优等品（Ⅰ类片）
    1、物理、化学特性
    ①型号：P 晶向[100]±1°
    ②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量：≤5X1016 at/cm3
    ④勺子寿命：T=1.3—3.0us（在测试电压≥20mv下裸片的数据）
    ⑤电阻率：0.9—1.2、1。2—3.0 、3.0-6.0Ω/cm
    ⑥位错密度：≤3000个/cm
    2、几何尺寸：
    ①边长：125*125±0.5mm
    ②对角：150*150±0.5mm
    ③同心度：任意两弧长之差≤1mm
    ④垂直度：任意两办的夹角90°±0.3°
    ⑤厚度：200±20 um，（中心点厚度≥195um，边缘四角厚度≥195um）
    180±20 um，（中心点厚度≥175um，边缘四角厚度≥160um）
    ⑥TTV: ≤30um
    ⑦弯曲度：≤40um
    3、表明指标：
    ① 线痕：无可视线痕
    ②目视表面：无粘污、无水渍、染色、白斑、指印等
    ③无崩边：无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲
  （2）合格品（Ⅱ类片）
    1、物理、化学特性
    ①型号：P 晶向[100]±1°
    ②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量：≤5X1016 at/cm3
    ④勺子寿命：T=1.3—3.0us（在测试电压≥20mv下裸片的数据）
    ⑤电阻率：0.5-0.8Ω/cm
    ⑥位错密度：≤3000个/cm
    2、几何尺寸：
    ①边长：125*125±0.5mm
    ②对角：150*150±0.5mm
    ③同心度：任意两弧长之差≤1.5mm
    ④垂直度：任意两办的夹角90°±0.3°
    ⑤厚度：200±20 um，（中心点厚度≥195um，边缘四角厚度≥180um）
    180±20 um，（中心点厚度≥175um，边缘四角厚度≥160um）
    ⑥TTV: ≤30um
    ⑦弯曲度：≤40um
    3、表明指标：
    ① 线痕：无明显线痕、触摸无凹凸感。
    ③崩边范围：崩边口不是“V”型，长X 深≤1X0.5mm ，无可视裂纹、边缘光滑、目视无翘曲
（3） 等外品（Ⅲ类片）
    1、物理、化学特性
    ①型号：P/N 晶向[100]±3°
    ②氧含量：≤1.0X1018at/cm3
    ③碳含量：≤5X1016 at/cm3
    ④勺子寿命：T＜1.0us（在测试电压≥20m下裸片的数据）
    ⑤电阻率：≤0.5Ω/cm
    ⑥位错密度：＞3000个/cm
    2、几何尺寸：
    ①边长：125*125±1.0mm
    ②对角：150*150±1.0mm
    ③同心度：任意两弧长之差≤1.5mm
    ④垂直度：任意两办的夹角90°±0.5°
    ⑤厚度：＜160um
    3、表明指标：
    ① 有明显视线痕，触摸有凹凸感