产品中心
您的位置: 首页 > 产品中心 > 气体流量控制 > 质量流量控制器
质量流量控制器
ALF420-S系列质量流量控制器
特点:
        1、满量程范围(N2):3~500 mLn/min(控制器50:1),1~30Ln/min(控制器100:1)
        2、精度:±1%F.S
        3、线性:±0.5%F.S
        4、重复性:±0.2%F.S
        5、阀门类型:常闭阀
        6、响应时间:≤1s
        7、工作压差:0.1~0.5MPa
        8、最大耐压:3MPa 可选:10MPa
        9、工作环境温度:5~45℃
        10、泄漏率:1×10-8Pa.m3/s
        11、通信信号:0~5V/4~20mA 模拟通信
        12、供电方式:24VDC(250mA)
        13、密封材料:丁腈橡胶 氟橡胶
        14、接头尺寸:3mm 6mm 8mm 10mm 1/8" 1/4" 3/4"


下载PDF
商品详情
        LF420-S模拟型气体质量流量控制器/流量计是一款高精度、快速响应、高稳定性产品,本产品为热式气体质量流量控制器/流量计,利用气流流过毛细管,改变毛细管温度分布,造成上下游温差 方法,从而测得气体的质量流量。其流量精度不受气体压力、环境温度影响,由于上下游温差总是实时反映气体瞬时流量,所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
        产品应⽤:真空镀膜设备、半导体⼯艺设备、化学与化⼯实验设备、⾷品科学与⼯程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表⾯处理、真空冶炼及材料⼯艺、⾼校及科研院所实验室设备。


四川省成都市金牛区长青路88号金美国际12层3号 备案号:蜀ICP备2021025867号