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质量流量控制器
气体动态混气系统
特点:
        1、长期零点稳定性,每年变动小于满量程的0.2%
        2、 能够根据命令变化迅速进行流量响应并且过冲/下冲可忽略不计
        3、流量范围宽:从3SCCM直到300SLM
        4、耐高压等级:高达10MPA
        5、可拆卸式流量传感器
        6、不受安装角度影响
        7、能和其他质量流量控制器在机械和电气设计方面兼容
        8、电驱动阀超调
        9、耐化学腐蚀阀门
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商品详情
        流量显示仪用于为气体质量流量控制器(MFC)和质量流量计(MFM)提供⼯作电源、操作控制、流量设定和流量数字显示等。流量显示仪采用小型塑料机壳, 体积较小, 便于安装。流量输入/ 输出信号, 可选0 ~ 5 V 电压信号和4~20mA电流信号。
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